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中國首家12英寸晶圓再生工廠在合肥量產(chǎn)

來源： IT之家   日期：2021-07-16  責(zé)編： 殷緒江  
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   7月15日， 經(jīng)過多年發(fā)展，合肥已成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快、成效最顯著的城市之一。甚至每次出現(xiàn)關(guān)于合肥的新聞都會引起IT之家小伙伴的驚嘆。
   據(jù)合肥市人民政府發(fā)布，合肥至微項目成為國內(nèi)最早具備 12 英寸晶圓再生及關(guān)鍵設(shè)備零部件再生能力的項目之一，全國首家 12 英寸晶圓再生工廠現(xiàn)已實現(xiàn)量產(chǎn)。（科普： 所謂“晶圓再生”，指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn)，實現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本）
   據(jù)介紹，合肥至微項目總投資近 10 億元，于 2020 年 3 月正式開工、2020 年 12 月項目設(shè)備調(diào)試、2021 年 3 月試生產(chǎn)，并在今年 6 月進(jìn)入量產(chǎn)階段。
   合肥量產(chǎn)的這一晶圓再生項目以 14 納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生產(chǎn)線。官方表示，該項目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年 168 萬片晶圓再生及 120 萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值可超過 6 億元。
   據(jù)悉，這是國內(nèi)最先量產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生工廠，該項目將對我國半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生重大影響。值得一提的是，國內(nèi)高端晶圓此前若要進(jìn)行再生需求都需要先送到日本、中國臺灣等地進(jìn)行處理。



 

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